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文摘

增长变化的属性的电影在一个垂直反应器的气相外延工艺过程参数的变化与本机对流帐户

作者(年代):E.L.丢车,E.A.Bulaeva

在本文中,我们分析了质量和热传输期间增长电影垂直反应堆为气相外延账户原生对流通过使用最近推出了上述预测流程的分析方法。本机对流需要显著影响经济增长的电影在高温下。我们确定几个条件增加外延层的同质性与不同参数的工艺流程。


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