摘要

溶胶-凝胶法制备SiO2/ tio2多层膜时，退火时间累积对其结构和光学性能的影响

作者(年代):塞德拉提，本萨哈，米斯卡

采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底和硅片上制备了二氧化硅/二氧化钛多层膜。采用XRD、Raman、SIMS、FTIR、UV-Vis、光致发光等实验技术对浸渍涂层进行了表征。不同退火时间积累的XRD谱图和拉曼谱图吻合较好，表明薄膜以锐钛矿相结晶。随着时间的增加，DRX和拉曼晶粒尺寸分别从12.33 nm减小到8.86 nm和17.01 nm减小到16.94 nm。红外光谱分析表明，随着退火时间的延长，Si-O-Ti能带振动增强。SIMS分析表明，在第一双分子层存在互扩散区，从而形成了SiO2-TiO2结构，从而证实了FTIR的结果。增加后者也表明所制成的薄膜在可见光范围内是透明的，而在紫外线区域是不透明的。光带隙能和光致发光(PL)强度随退火时间累积的增加而降低。