摘要

化学喷雾热解法制备薄膜的结构和光学性质研究

作者(年代):Abdulazeez O.Mousa, NoorA。尼玛，萨利姆·特里尔

采用喷雾热解技术在不同温度(400、450和500)oC下在玻璃基板上沉积了MgO透明介质薄膜，其厚度均保持在(80±5)nm。通过x射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)的结果描述了MgO的热行为。XRD结果表明，合成的MgO薄膜具有纯(FCC)结构。薄膜以立方结构结晶，(XRD)测量表明，在温度400℃时制备的(111)和(200)取向的多晶(MgO)薄膜在(450)℃时转变为(220)取向，并出现了新的择优取向的衍射峰(311)。在(500)℃时，消失了两个峰(111)和(200)。利用原子力显微镜(AFM)对制备的MgO薄膜进行了表面形貌表征。结果表明，表面粗糙度随基体温度的升高而减小。测量结果(UV-is)表明，在(500)℃制备的薄膜在(450)℃的(4.25 ~ 4.38)eV和(500)℃的(4.38 ~ 4.52)eV之间的能隙上有最大的光学透过率增加(> 96%)。