摘要

扫描探针光刻作为一种研究各种表面的工具

作者(年代):Sedigheh Sadegh Hassani, Zahra Sobat, Hamid Reza Aghabozorg

原子力显微镜(AFM)是一种越来越流行的工具，用于表征和操纵各种表面。在这项工作中，用原子力显微镜研究了nano——不同表面上的光刻。不同表面上的划痕是用硅和金刚石尖端接触方式造成的。LD乐动体育官网这些在硅涂层的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上产生的划痕与在聚乙烯(PE)衬底上产生的划痕进行了比较。研究了施加法向力、施加压力时间和划痕循环次数对划痕几何形状和深度的影响。研究表明，在不同的表面上存在一个临界尖力来去除材料。