摘要
采用脉冲激光沉积技术制备了LiCoO2薄膜。控制了薄膜沉积过程中两个重要的沉积参数,即基底温度和氧分压。拉曼数据由一系列位于LiCoO2薄膜400到700cm-1之间的宽频带组成。位于592cm-1的拉曼能带可以看作是CoO6基团的对称Co-O拉伸振动。这个带具有A1g对称性。RS峰位置484cm-1来自于Eg种。对称运动包括Co-O拉伸和O-Co-O弯曲振动。强度比随衬底温度的升高而增大。在pO2=100 mTorr条件下,薄膜在700ï‑C沉积,表明薄膜没有择优取向。
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