摘要

采用改进的液相沉积法制备纳米颗粒二氧化钛薄膜

作者(年代):Maeda Asahiko

提出了一种改进的液相沉积法制备二氧化钛薄膜的方法。这种方法包括在正常的ldd过程中引入微气泡。微气泡在膜的形成过程中不仅可以阻止横向成核，还可以通过自压产生热点。这导致了一个粗糙的表面薄膜，具有锐钛矿结晶度的纳米二氧化钛颗粒，即使在生长的薄膜中也是如此。改进的LPD工艺使薄膜从锐钛矿相转变为金红石相的温度降低。对于通过改进的LPD工艺制备的薄膜，即使在生长的薄膜中也观察到光催化紫外光响应。经500℃退火后，其活性显著提高，结晶度提高，比表面积增大。