摘要 卧式反应器气相外延工艺的优化 作者(年代):E.L.Pankratov, E.A.Bulaeva 本文分析了卧式反应器中气相外延层生长过程中的质量和热传递。在分析结果的基础上,分析了工艺参数对生长层性能的影响。 PDF 分享这