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摘要

卧式反应器气相外延工艺的优化

作者(年代):E.L.Pankratov, E.A.Bulaeva

本文分析了卧式反应器中气相外延层生长过程中的质量和热传递。在分析结果的基础上,分析了工艺参数对生长层性能的影响。


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