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控制立式反应器的气体和热传输过程改进外延层的性质

作者(年代):E.L.丢车,E.A.Bulaeva

在本文中,我们分析了质量和热传输在一个反应堆从气相生长外延层。基于分析的结果,我们分析了依赖性生长层的属性参数的工艺流程。