摘要

用场效应异质晶体管制造“或”元件的降维方法

作者(年代):E.L.Pankratov, E.A.Bulaeva

本文介绍了一种基于场效应异质晶体管的逻辑元件Â - ORÂ -降维方法。该方法基于制造具有所需构型的异质结构，对异质结构的所需区域进行扩散或离子掺杂，优化掺杂剂的退火和/或辐射缺陷。提出了几种优化掺杂剂和辐射缺陷退火的建议。