摘要
退火参数对溶胶-凝胶法制备ITO玻璃薄膜热发射率的影响
作者(年代):ArijitDe采用溶胶-凝胶浸渍技术在碳酸硅玻璃衬底上沉积了锡掺杂氧化铟(ITO)薄膜。以无机盐前驱体为原料，在保持In: Sn = 90: 10原子比的情况下，制备了3种不同浓度，分别为6、8和10 wt%当量的混合In2O3和SnO2。用积分球法测定了沉积膜在0.25 ~ 18 μ m波长范围内的总热发射率。6 wt %溶胶制成的薄膜在四步沉积后发射率从0.91下降到0.61，而8和10 wt %溶胶制成的薄膜在三层沉积后发射率分别从0.91下降到0.59和0.88下降到0.16。通过简单地优化退火气氛和时间，可以降低发射率，而不是增加物理厚度。在这方面，还原气氛被证明是有效的，而退火时间为3.5 h使热发射率值显著降低。
