文摘

独特的优势和新颖应用BioMEMS

作者(年代):陈应剑

的巨大进步生产processyMEMS已经应用到很多领域在最近yearsyand今天他们已经成为AA“基本devicesAA”ywhich与集成电路相媲美。在这个paperywe首先讨论主要的明显优势ofMEMS以及微机电系统之间的重要差异和ICythen一些最新的研究进展在生物医学,环境和MEMS微流体的应用进行了综述。最后,BioMEMS的未来发展进行了展望。