摘要

基于Mems的微型电机设计与仿真

作者(年代):K. Balachandar, V. Balaji, D. Prem Kumar和S. Arun Kumar

微机械电机是电机的最新发展，它在较低的速度下提供更高的扭矩。与传统的电磁电机相比，它们的体积非常小，其部件在微米(μm)范围内。微型电机根据其速度和转矩特性有不同的类型。电磁和静电电机体积大，重量重，由于存在齿轮箱旋转运动。它还提供低扭矩和低速。另一方面，压电电机有许多优点。它们小巧而紧凑，提供更大的力和扭矩。压电式微型电机又可分为冲击传动、寸形蜗杆和超声波微型电机。本文重点研究了压电作动器驱动纳米级轴的压电尺蠖电机。压电尺蠖微型电机通常用于生物医学应用，如扫描隧道显微镜和生物细胞的膜片夹紧。 COMSOL software is used to analysis and simulates the process.