摘要

溶胶-凝胶技术制备的二氧化硅/二氧化钛多层膜结构与光学性能的相关性及应用于bragg反射器

作者(年代):H.Sedrati, R.Bensaha, M.Brahimi, H.Dehdouh, H.Bensouyad, F.Abbas, B.Toubal

在玻璃衬底和Si(111)晶片上，采用溶胶-凝胶技术分别沉积了SiO2和TiO2薄层。采用XRD、SEM、FTIRandUV-VIS-NIR等实验手段对浸包多层膜进行了表征。x射线衍射图分析表明，无论双分子层数多少，薄膜均以锐钛矿相和金红石相结晶，晶粒尺寸由5.48 nm增大到16.11 nm。sem显微照片显示，我们的层是均匀的，没有任何可见的裂缝。红外光谱表明，Si-O-Ti键的振动随着双分子层数的增加而增强。一方面，这一增加使透射系数从4.58%降低到0.55%，并增加了UV-VIS-NIR光谱中显示的停止带宽度。另一方面，带隙从3.73 eV减小到3.59 eV。此外，伪带隙位于300 n和400之间，从1.76 eV增加到2.29 eV。