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LD乐动体育官网接触金属化和衬底掺杂、退火温度依赖性的接触电阻率

作者(年代):M。Idrish Miah

我们制作的可靠接触结构使用接触materialLD乐动体育官网sAu n型砷化镓,通用电气和Pd层厚度100海里,50 nm和10 nm,分别。结构的接LD乐动体育官网触电阻率测量用传输线模型。合同结构研究了衬底掺杂浓度和退火温度的依赖性。接触电阻LD乐动体育官网率被发现随着退火温度降低到~ 180°c。然而,退火温度的进一步提高,它增加了。接触电阻LD乐动体育官网率也发现随着衬底掺杂浓度降低。转移的特点和形态学的研究联系表示低接触电阻率的欧姆接触。LD乐动体育官网然而,结果表明,inter-diffusion之间接触材料是负责一个重要因素引起的透明的接触和使用该配方透明联系人可以实LD乐动体育官网现广泛的n型衬底掺杂浓度。