摘要
激光烧蚀LiCoO2薄膜的组成研究
作者(年代):M.C.Rao采用脉冲激光沉积技术制备了LiCoO2薄膜。控制了薄膜沉积过程中两个重要的沉积参数,即基底温度和氧分压。用x射线光电子能谱(XPS)分析了实验薄膜的组成。Co(2p3/2)和Co(2p1/2)的结合能峰分别在779.3 ev和794.4 ev,这可以归因于LiCoO2的Co3+成键态。在氧分压为100 mTorr、衬底温度为300-700ï c的条件下沉积的LiCoO2薄膜,从XPS数据观察到的核心能级结合能峰位置和Li/Co比值表明,该薄膜具有近似生物计量特征。红外光谱显示出licoo2在250和554cm-1处的特征红外优势波段。
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