摘要

采用先进喷雾热解技术制备不同厚度无掺杂和掺硼ZnO薄膜的结构、光学和电学性能比较

作者(年代):S.C.Yadav, M.D.Uplane

采用先进的喷雾热解技术，在低底材温度(2000C)下，以不同体积的醋酸锌和硼酸非水溶液掺杂，在玻璃基板上制备了不同厚度的未掺杂和掺硼氧化锌薄膜。比较了不同厚度的未掺杂氧化锌(ZnO)薄膜与掺b (BZO)薄膜的结构、光学和电学性能。采用先进的喷雾热解技术，在低底温(2000C)条件下成功制备了透明、高质量的ZnO和BZO薄膜。薄膜为多晶，呈六角形结构，沿c轴有较强的择优取向。x射线衍射分析表明，与未掺杂薄膜相比，硼的加入使BZO薄膜的结晶度变差。在电磁波谱可见部分，掺杂薄膜的平均光学透过率比未掺杂薄膜高。掺杂使光学带隙发生蓝移。与不同厚度的未掺杂薄膜相比，BZO薄膜的电导率有所提高。