摘要

气相外延反应器中外延层生长规律的分析，以提高外延层性能的均匀性

作者(年代):E.L.Pankratov, E.A.Bulaeva

本文分析了倾斜式衬底气相外延反应器中外延层生长过程中的质量输运和热输运，并与气载气试剂混合流动进行了比较。我们分析了在不同生长状态下增加外延层性能均匀性的可能性。介绍了一种用于工艺过程分析的分析方法