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基于有限元分析的分析光栅规模的复印机

作者(年代):李陆剑锋,杏园,杨Xudong,黄Ping,陈Lunjun

因为光栅规模复制属于精密加工,所以在工作状态下平台的平面光栅尺的要求将是很高的。主要结构会发生变形时体重和压缩力的作用下,影响加工精度。某种类型的长光栅精密光刻复印机被认为是为研究对象。介绍了有限元法的结构改进。Solidworks用于建立对象的三维模型和有限元分析是用于执行静态分析和对现有结构的模态分析可以找到这样的弱点。结构改进分析结果的基础上,可进行整体结构的稳定性和均匀性的显示平台的平面度可以改善。