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摘要

溶胶-凝胶法制备透明Tio2薄膜的光学和结构性能研究

作者(年代):阿里。Taherkhani, M.Biderang

本研究对TiO2薄膜的光学性能和结构性能进行了研究。采用溶胶-凝胶法在石英和玻璃衬底上进行浸渍。通过yuv -可见光谱和XRD分析了薄膜的光学性能和结构性能。结果表明,随着退火温度的升高,透射率、孔隙率和带隙均有所降低。薄膜厚度和折射率随退火温度的升高而增大。薄膜在400、600和800℃时为锐钛矿型,在1000℃退火时为金红石型。


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