文摘

研究各向异性蚀刻的(100)硅在KOH水溶液

作者(年代):p . a .艾尔维v . s . Meel, k . Sarita j .说明k·m·拉尔a . s . a . h和纳阿

本文报告的各向异性腐蚀温度和浓度的依赖关系(100)硅在KOH水溶液。蚀刻率(100)硅的湿法腐蚀纯KOH溶液实验确定了不同KOH浓度和KOH溶液的温度。原子力显微镜(AFM)和光学显微镜用于蚀刻表面质量的检查。已经观察到腐蚀速率增加而增加的温度KOH溶液浓度从10%到45%不等的重量。然而,对于一个给定的KOH温度、腐蚀率随KOH浓度增加而减小。相反提高10%的KOH溶液氧化硅表面主要向更多的亲水性,从而降低蚀刻率是导致。